CDE ResMap 四点探针 ResMap 273-上海瞬渺光电技术有限公司

CDE ResMap 四点探针 ResMap 273

CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家的

CDE ResMap Model 273

Resmap 273

在178型的技术基础上，ResMap273是半导体行业30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能，实现了300毫米的技术进步和大型衬底膜特征。外形小巧，坚固耐用，ResMap创造了同等的准确性和可重复性。

晶片传送	手动加载	电脑系统	奔腾系列；windows XP家用（不带显示）
晶片尺寸	2" - 12"
		SECS-II 选项	有
直径	12.2"
		映照模式	极投影地图（对准缺口/平形，跨越，或者持平）;矩形图（选择内侧边缘排除）;线扫描（直径，半径或沿直径任意点，最小步进0.1毫米点），用户自定义（模板）
面积	8.6" x 8.6"
典型测量时间	每site1秒
		平面图	等高线（间距选择，1/3σ，固定和自动％），3D，线，数据图，直方图，数据序列，径向和角分布，趋势图的不同模式可供选择
输出	每个晶片1分（29sites）
测量范围	2 mΩ/� - 5 MΩ/� （可以优化为1 mΩ/�）
重复率 (1σ, 典型):	≤ ±0.02% （静态或Rs） ≤ ±0.02%（动态附近点）
		数据	所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。
准确度	≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准
周边除外范围	1.5毫米（探针中心到膜边缘距离）

设备
吸尘系统：	不要求真空
交流功率：	100V to 240V < 10 KVA
尺寸（英尺）：宽深高	15" w x 18"d x 10"h; 桌面（不包括桌面）

2. 验收测试方法

· 精确度：

精确度测量方法：用标准片标定后，连续测试标准片5次，取平均值与标准值对比。

· 重复精度：

用标准片标定后，连续测试样品同一点5次，按如下公式计算：(Max-Min) /（Max+Min）（%）。

· 稳定度：

用标准片标定后，对同一样品的同一个点，依次在 1秒，30秒，1分钟，5分钟，15分钟，30分钟，45分钟，1小时测量，按如下公式计算：(Max-Min) /（Max+Min）（%）。

光伏测试专用美国ResMap四点探针

CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换。

CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家的。