1、扫描电镜样品的基本要求

一是导电性好，样品在电子束反复扫描下表面电位不会升高，避免电荷效应；

其次，热稳定性好，电子束温度高，导热性差的样品在观察过程中会漂移，一些热敏材料会损坏图像不稳定，观察部位会起泡、开裂、空洞；

最后，二次电子和背散射电子产率高；

简单的说

1）样品的导电性

2）样品的尺寸

3）样品干净干燥

4）固定粉末样品

5）制备组织和夹杂物样品

因DBSD样品分析应倾斜70°等特性，EBSD样品制备要求较高，表面平整、清洁，无残余应力；当需要定位数据时，样品外观坐标系应准确，尺寸约为1-3CM或者稍微小一点。

2、样品的制备

1）试样的镶嵌

镶嵌时：

a)查看边缘信息时

b)样品太小或形状不规则

镶嵌类型分为以下两种：

热镶嵌法:首先要保证热或热塑性温度不会导致镶嵌样品组织发生变化。通常推荐热镶嵌。

冷镶：环氧树脂或丙烯酸树脂

2）试样的清洁

样品被污染或SEM 污染会导致图像质量差，因此清洁样品非常重要。可用吸耳球吹或将样品放入丙酮或酒精中，超声波清洗至少10秒。

3）试样的磨抛