plasma处理系统SAT-5D

技术特点：

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。

2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配，稳定可靠，具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。

9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的控制和监测。

10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式，操作直观简单稳定可靠。

plasma处理系统SAT-5D

技术规格参数