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STY-2R型导电型号测试仪
1、概述
STY-2R型导电型号测试仪是严格按照国际标准SEMI MF42-1105及国标GB/T1550中的全类型整流法设计生产。
本仪器将三根测试探针做成测量探头,任意两根针之间绝缘度大于500MΩ,每根探针均有独立伸缩和加压机构,因此样品上无需制备电极。
探针与半导体材料上产生的整流电势差经低噪声、低飘移集成运算放大器放大后,用液晶显示器件直接指示型号。
2、技术参数
(1)国际标准确认:可准确判别硅材料导电型号的电阻率范围:0.05~1000Ω·cm
(2)本仪器实际可测量硅材料电阻率范围:10-2~104Ω·cm
(3)可测线度大于5mm的任意形状的硅块和硅片,样品长度、直径不受限制
(4)显示方式:由显示N和P字样的液晶器件直观指示半导体材料型号
(5)探针采用耐磨的碳化钨硬质合金,直径0.8mm,每根针有独立的加压机构,压力可在50~500克(单针)范围内根据用户需要进行调整
(6)探针间距:1.59mm(探针直径0.8 mm)或1.00 mm(探针直径0.5 mm)
(7)外型尺寸:210×100×230(宽×高×深,单位mm)
(8)重量:约3kg
(9)电源:交流 220V±10%,50HZ。功耗≤20W
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