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高精度定位台Q-max是美国Nutec定位工作台

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参   考   价: 80
订  货  量: ≥1台
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:FPNUT-Q-MAX
  • 品牌:
  • 产品类别:其他
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2022-09-25 15:52:22
  • 浏览次数:6
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  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:992条
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  • 最近登录:2022-09-25
  • 联系人:杨经理
产品简介

高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台,它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制

详情介绍

  高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台,它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。

  高精度定位台Q-max应用

  高精度定位台Q-max非常适合轨迹控制的应用,比如半导体光学测量,平板显示测量,微电子测量设备,也作为OEM件集成到这些大系统中,在范围内作为OEM器件存在40万套的销量。国际上客户用高精度定位台Q-max在微电子晶圆制造中对液体精密加注,在激光和光学领域,科学家使用它精密控制光路等。

  高精度定位台Q-max特点

  精密定位台具有25mm, 50mm 和100mm行程范围

  集成高精度线性编码器,分辨率高达12.5nm

  Quad-Vee Lock needle传导系统提供恒定支持

  滚珠丝杠或滚柱丝杠传导,滞带最小

  重复精度高达亚纳米,特别适合Z轴或垂直应用

  高精度定位台Q-max规格参数

  行程范围:25mm,50mm,100mm

  驱动系统:滚珠BSM40

  滚珠间距:1mm

  加速度:受负载影响

  速度:30mm/s

  建议负载:15kg (QMX-25), 30kg(QMX-50),35kg(QMX-100)

  反馈系统:非接触式线性编码器系统

  重复精度 lt;=100nm

型号QMX-25QMX-50QMX-100
行程25 mm50 mm100 mm
轨迹控制
精度
标准版精度± 2.0 μm± 3.0 μm± 4.0 μm
高精度版精度± 0.5 μm± 1.0 μm± 1.5 μm
直线度/平整度
标准版直线度/平整度± 1.0 μm± 2.0 μm± 3.0 μm
高精度版直线度/平整度±0.5μm±0.5μm±0.5μm
Yaw/Pitch/Roll
标准版Yaw/Pitch/Roll5 arc-sec7.5 arc-sec9 arc-sec
高精度版Yaw/Pitch/Roll4 arc-sec5 arc-sec6 arc-sec
精度Yaw/Pitch/Roll*3 arc-sec4 arc-sec5 arc-sec
分辨率
线性编码器标准品50nm
可选参数联系我们索取
旋转编码器@1 mm lead100nm
@5 mm lead50.8nm
XY二维定位台系统
标准品正交性20 arc-sec20 arc-sec20 arc-sec
高精度版正交性10 arc-sec10 arc-sec10 arc-sec
精度版正交性5 arc-sec5 arc-sec5 arc-sec
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