高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。
高精度定位台Q-max应用
高精度定位台Q-max非常适合轨迹控制的应用,比如半导体光学测量,平板显示测量,微电子测量设备,也作为OEM件集成到这些大系统中,在范围内作为OEM器件存在40万套的销量。国际上客户用高精度定位台Q-max在微电子晶圆制造中对液体精密加注,在激光和光学领域,科学家使用它精密控制光路等。
高精度定位台Q-max特点
精密定位台具有25mm, 50mm 和100mm行程范围
集成高精度线性编码器，分辨率高达12.5nm
Quad-Vee Lock needle传导系统提供恒定支持
滚珠丝杠或滚柱丝杠传导，滞带最小
重复精度高达亚纳米，特别适合Z轴或垂直应用
高精度定位台Q-max规格参数
行程范围：25mm,50mm,100mm
驱动系统：滚珠BSM40
滚珠间距：1mm
加速度：受负载影响
速度：30mm/s
建议负载：15kg (QMX-25), 30kg(QMX-50),35kg(QMX-100)
反馈系统：非接触式线性编码器系统
重复精度 lt;=100nm
| 型号 | QMX-25 | QMX-50 | QMX-100 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 25 mm | 50 mm | 100 mm |
| 轨迹控制 | |||
| 精度 | |||
| 标准版精度 | ± 2.0 μm | ± 3.0 μm | ± 4.0 μm |
| 高精度版精度 | ± 0.5 μm | ± 1.0 μm | ± 1.5 μm |
| 直线度/平整度 | |||
| 标准版直线度/平整度 | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ± 3.0 μm |
| 高精度版直线度/平整度 | ±0.5μm | ±0.5μm | ±0.5μm |
| Yaw/Pitch/Roll | |||
| 标准版Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 7.5 arc-sec | 9 arc-sec |
| 高精度版Yaw/Pitch/Roll | 4 arc-sec | 5 arc-sec | 6 arc-sec |
| 精度Yaw/Pitch/Roll* | 3 arc-sec | 4 arc-sec | 5 arc-sec |
| 分辨率 | |||
| 线性编码器 | 标准品 | 50nm | |
| 可选参数 | 联系我们索取 | ||
| 旋转编码器 | @1 mm lead | 100nm | |
| @5 mm lead | 50.8nm | ||
| XY二维定位台系统 | |||
| 标准品正交性 | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec |
| 高精度版正交性 | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
| 精度版正交性 | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
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