纳米垂直定位台SHL系列是采用纳米编码器具有高负载能力的三轴纳米定位台,能够在Z轴垂直方向升降定位,具有不同范围的负载。
纳米垂直定位台具有独立导轨，确保负载方向直线运动。并可以集成多种定位编码器用于直接位置反馈。
纳米垂直定位台为垂直升降定位而设计,可额外装备恒力弹簧抵消负载,从而获得平稳的更大负载值。
纳米垂直定位台采用纳米编码器可托举高达10kg负重升降数毫米高度,多轴系统可以在三个轴向提供更高阻尼力。
纳米垂直定位台系列规格参数
| 型号 | SHL-1D20N-10 | SHL-1D80N-1 | SHL-3D5N-1 |
| 分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
| 负载 | 20N(2kg) | 80 N (8 kg) | 5 N (500g) |
| 适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范围 | 10mm（+/-5mm) | 1mm | 1mm |
| 步进 | 10-300nm | 1 – 150 nm | 1 – 150 nm |
| 扫描范围 | >500um | > 500 μm | > 500 μm |
| 扫描分辨率 | <1nm | < 1 nm | < 1 nm |
| 速度 | >5mm/s | > 1 mm/s | >5mm/s |
| 频率 | 10KHz | 10 kHz | 10 kHz |
| 正向力Fn | 20N | 80N | 5N |
| 升力Fl | 20N | 80N | 5N |
| 尺寸2 | 65 x 75 x 50 mm^3 | 41 x 86 x 50 mm3 | 100 x 140 x 40 mm3 |
| 重量 | 400g | 340g | 650g |
| Closed-Loop-S 传感器分辨率1
| 1nm | 1nm | 1nm |
| Closed-Loop-S 重复精度2
| +/-100nm | +/-100nm | +/-100nm |
| Closed-Loop-L 传感器分辨率
| 4nm | 4nm | 4nm |
| Closed-Loop-L 闭环分辨率
| +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS |
| Closed-Loop-L 重复精度
| +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS |
说明：
1）重复精度是全行程测量数据，行程小时重复精度更高
2） 尺寸和其它处理工艺可定制
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