ESD扫描测试系统探头由具有软件控制的机器手定位在所需的测试点，触发耦合，并记录被测器件的响应以进行相对抗扰度水平比较。简化的抗扰度设置图和抗扰度示例图（敏感性图）如下所示：
ESD抗扰度扫描仪的应用
根据IEC 61000-4-2型式试验确定敏感的点、区域或痕迹
开发初期系统级ESD测试性能评估
设计变更前后相对抗扰度水平比较
选择更多防静电零部件（供应商A优于B）
静电盒由TLP传输线脉冲和故障检测单元组成
故障检测单元
四个模拟信号输入
四个数字信号输入
三辅助输入
远程控制DUT电源循环用120V和DC电源
用于图像变化检测的光学传感器
用于声音开/关检测的微型电话
DUT控制器的集成
多信号同时监测
监测信号的布尔运算，以控制被测器件的复位和故障类型的分类
TLP传输线脉冲
200V至8,000V传输线充电电压
<300>6 ns的下降时间，以防止在两个边缘引起故障
ESD扫描测试系统硬件配置参数：
型号 | ESD-350 | ESD-550 |
扫描仪图片 | ||
款式 | 桌面式 | 独立式 |
探头定位 (1) | 350mm 4轴机械手 | 550mm 4轴机械手 |
Z向行程 | 150mm | 150mm |
大扫描区域 | 1500cm2 | 4150cm2 |
精度 | 100um | 100um |
重复性 | < 50um | < 50um |
占用空间 | 27" x 25" x 37" (WxDxH) | 59" x 33" x 72" (WxDxH) |
静电探头 (2) | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm |
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