日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散乱表面分析仪器是应用于表面分析 & 元素分析的。
·表面结构可视觉直观评估
·不受电场和磁场影响in-situ 分析
·单一原子层或结晶尺度的成长监测
·薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属
·最表面数层非常灵敏
·加热范围: ~1000 ℃
·能适应广泛的基底材料背景
·不适合高氧气分压环境
·激光加热: ~1300 ℃
·的耐高温能力
·直径: φ10mm
·灯丝加热: ~600 ℃
北京英格海德分析技术有限公司
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Pascal Sputtering system is suitable For Accurate Multi Layer Deposition,Higher Deposition Rate,Excellent Film Thickness Distribution.
日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散乱表面分析仪器是应用于表面分析 & 元素分析的。
·表面结构可视觉直观评估
·不受电场和磁场影响in-situ 分析
·单一原子层或结晶尺度的成长监测
·薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属
·最表面数层非常灵敏
·加热范围: ~1000 ℃
·能适应广泛的基底材料背景
·不适合高氧气分压环境
·激光加热: ~1300 ℃
·的耐高温能力
·直径: φ10mm
·灯丝加热: ~600 ℃
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