高质量氟硅橡胶制品是侧链引入氟代烷基的一类硅橡胶。常用的氟硅橡胶为含有甲基、三氟丙基和乙稀基的氟硅橡胶。氟硅胶具有良好的耐热性及优良的耐油、耐溶剂性能，如对脂肪烃、芳香烃、氯代烃、石油基的各种燃料油、润滑油、液压油以及某些合成油在常温和高温下的稳定性均较好，这些是单纯的硅橡胶所不及的。
    高质量氟硅橡胶制品具有较好的低温性能，对于单纯的氟橡胶而言，是一种很大的改进。含三氟丙基的氟硅橡胶保持弹性的温度范围一般为-50℃至+200℃，耐高低温性能较乙烯基硅橡胶差。且在加热到300℃以上将会产生有毒气体。主要应用于耐烯油、耐润滑油的密封件、接触件、传感器材料，及化学品腐蚀泵、阀、油管密封件等。