测量显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
FS-70
378 系列 — 半导体检测用显微镜
特点
•此光学系统初是为的 FS60 型 (后升
级为 FS70 型) 而开发的。它是作为测量检
测半导体器件的显微镜的理想选择。
•FS70L 支持 3 种 YAG 激光波长 (1064nm,
532nm, 355nm)，FS70L4 支 持 2 种 波 长
(532nm, 266nm)，可在半导体和液晶基板
中使用薄膜激光切割技术。这就扩大了
激光的使用范围。然而，对用于显微镜
的激光系统的性能和安全性，三丰公司
不负责任。我们推荐在选购激光发射器
时应仔细检查。
•FS70Z 的标准功能有 ：亮视场，微分干涉
对比 (DIC) 和偏振观测。FS70L 和 FS70L4
不支持 DIC。
•使用内置式转换器使得长工作距离物镜
的操作很简单。
•极易操作的设计 ：FS70 采用正像光学系
统 (视场中的像与样品方向相同) 并用橡胶
把手加大微调手轮。
性能参数
型号 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
货号 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
短基座型号 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
货号 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
对焦 50mm 行程，同心焦距粗调 (3.8mm/rev) 和微调 (0.1mm/rev) 轮 (左、右)
图像 正像
瞳距 Siedentopf 型 , 调节范围 : 51 - 76mm
视场数 24
俯角 — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透过率 50/50 100/0 or
0/100
50/50 100/0 or
0/100
100/0 or 0/100 100/0 or 0/100
保护性滤光片 — — 内置激光射线滤光片 内置激光射线滤光片
光学管径 1X 1X - 2X 焦距型 1X 1X
适用激光 — — 1064/532/355nm 532/266nm
相机端口 C-mount (使用适配器 B 选件) 使用带有电视端口的
激光器
C-mount 端口
(带有绿色滤光片转换开关)
照明系统 ,
选件
亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)
12V 100W 光纤、无极亮度调节、光纤长度 ：1.5m, 功耗 150W
物镜 , 选件
(用于观察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物镜 , 选件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
载重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
* 镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量
VMU
378 系列 — 视像显微镜系统
VMU 是一种袖珍、轻型和易于安装的显微
镜装置，通常在半导体制造中用于 CCD 相
机监视。
特点
•其光学系统的特点是具有超长工作距离物
镜，具有对大范围辐射波长的校正功能。
•光纤反射照明可使工件免于受热膨胀影
响。需要光纤照明器作为光源。
•可供使用的还有激光支架或转塔 (物镜安
装)。
性能参数
镜体倍率 1X
适用
波长
378-505,
378-506
近红外线和可见光范围
378-513 近红外线 —可见光— 近紫外
线范围
378-514 可见光和紫外线范围
物镜 (选件)
反射照明 • 带有孔径光阑系统的远心
系统
• 需要光纤照明 (选件)
光源 卤素灯泡 (21V, 150W) (选件)
重量 378-505: 570g
378-506: 590g
378-513: 1270g
378-514: 1300g