真空无氧固化炉，高温无氧烘箱简介
     真空无氧烘箱是一种提供高温、低氧、洁净环境的特殊制程设备。烘箱内部为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内可充氮、真空，使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，曲线升温、恒温、快速降温。并附设有超温断开加热、氧含量检测、辅助降温装置及报警电路，控制可靠，使用安全。
      真空无氧烘箱用于PI胶、BCB胶固化，键合材料预处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。
真空无氧固化炉，高温无氧烘箱技术参数
温度范围： RT ～300/450/550℃；
温度波动度：≤±1℃
升温速度：0-10℃/min；
降温方式：自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制： 可调试流量计控制
氧含量检测：20～1000ppm
工作尺寸：W350×H350×D350,

                W450×H450×D450，

                W600×H600×D600可定制
高温无氧真空烤箱结构：
箱体材料：外箱采用优质冷轧板烤漆；
内室材料：采用316L医用级不锈钢；
保温材料：超细陶瓷纤维；
排 气 口：KF16；
真空泵：涡旋干泵（进口）；
高温无氧真空烘箱温控系统：
操作界面：人机界面+PLC，可一键运行，多个工艺编辑；
温度测量：K型热偶；
控制仪表：高精度温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃，