住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧超纯水装置
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
| 臭氧气体流速 | 5 to 150ppm |
| 臭氧气体供应压力 | *大0.25MPa |
| 臭氧化超纯水流量 | 1 to 90L/min |
| 原料气 | 氧、氮、二氧化碳 |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
优势：
浓度高，流量大
占地面积小，紧凑
运行成本低（功耗低，易损件数量少，放电单元寿命长）
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
关闭期间免维护
无氮臭氧
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