在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的 。

　　等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

　　真空等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢剥离去除。下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例，说明这些作用。等离子体对油脂污垢的作用，类似于使油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧"。其基本原理:在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，油脂分子终被氧化成水和二氧化碳分子，并从物体表面被清除。

　　清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；