X荧光光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，可以 测定元素含量。

　　近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得多也广泛。

　　大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。

　　来自X射线管的特征X射线照射到样品上，样品中含有的元素受X射线激发后会发出*能量的X射线荧光。用检测器检测X射线荧光，根据X射线荧光的能量进行定性(确定含有什么元素)，根据X射线荧光的强度进行定量(确定元素的含量)。

　　元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，根据莫斯莱定律，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下：

　　λ=K(Z? s) ?2

　　式中K和S是常数。

　　而根据量子理论，X射线可以看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量为：

　　E=hν=h C/λ

　　式中，E为X射线光子的能量，单位为keV；h为普朗克常数；ν为光波的频率；C为光速。

　　因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。