由光源激发样品所产生的特征X射线直接进入探测器，探测器将光信号转化为电信号，由主放大器输出的脉冲传送到ADC（模数转换器），脉冲幅度的模拟信号在这里转换成数字信号，产生的数字作为与多道分析器（MCA）连接的地址，然后根据这些地址分检不同的脉冲即X射线的能量，并记录相应的脉冲数目。

　　能量色散x射线荧光光谱仪，利用脉冲高度分析器进行能量色散的x射线荧光光谱仪公与波长色散x射线荧光光谱仪相比，它的结构简单。可使用小功率x射线管激发和简单的分光系统。

　　采用半导体探测器和多道脉冲高度分析器可提高分辨本领，由微处理机处理，可同时恻定试样中}o一sn种元素，分析速度快。