等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

　　在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．

　　等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

　　一、控制单元

　　国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

　　而控制单元又分为两个大的部分：

　　1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、、，其中是需要电源匹配器的。

　　2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

　　二、真空腔体：

　　真空腔体主要是分为两种材质的：

　　1）不锈钢真空腔体。

　　2）石英腔体。

　　三、真空泵：

　　真空泵分为两种：

　　1）干泵。

　　2）油泵。