用途

此为高真空传输闸阀使用于半导体,平板显示器, 光伏, LED二极管等产业.

配装于真空腔体侧, 两个真空腔(传输腔/制程腔)或大气与真空腔(制程腔)中间,

作为生产线基板或载板传输的闸口.

特性

• L-MOTION 轨迹动作,在真空的空间中,无金属与滑动部件接触,不会产生金属微粒

• 简化部品的结构, 使得产品更精简与节省空间

• 垂直的闸板封密表面, 降低外部异物污染的风险

• 标准坚实的规格与免维修的产品, 可保证 100万次的寿命

• 标准闸板封密材料为O型圈, 可节省维修的成本

规格

高真空传输闸阀, 选用驱动器的型式时, 依阀门开口与规格(温度/真空压)而定

V TEX 将依客户使用的需求条件提出驱动部的型式

< 阀门驱动部型式 >

RollCam Type: 单凸轮轴式

Twin-RollCam Type: 双凸轮轴式

Multi-rollcam Type: 复合凸轮轴式

Boxer Type: 往复式

Roll-to-Roll Process type: 卷带式

<< 对应型式与空间压力的匹配>>