nSCULPTOR是用于纳米结构加工的3D激光光刻系统,基于多光子聚合(mPP)技术,适用于市场上常见光阻材料。可以加工和生产纳米精度和分辨率的三维结构。系统可以有效配套市场上常见的光刻胶,实现纳米精度和分辨率的模型制作以及各种三维立体结构加工。系统将整个加工过程整合到一起,包括3D模型的创建和制备,激光直写,后期处理。
产品特点:
· 一体化解决方案
· 100nm-10um分辨率
· 复杂3D物体
· 不同的聚合物
· 占地面积小
产品应用:
· 纳米光子器件(3D光子晶体)
· 微流控
· 微光学器件(透镜,光纤结构)
· 微型机械
· 微型光机电系统(MOEMS)
· 生物医学
多光子聚合3D纳米光刻机是一套基于多光子聚合(mPP)技术专业为制备微纳结构而设计的3D激光光刻系统。系统可以有效配套市场上常见的光刻胶,实现纳米精度和分辨率的模型制作以及各种三维立体结构加工。
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